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組件EL檢測儀的靈敏度可通過以下方式量化評估：
響應信號與激勵變化關系：靈敏度定義為測量儀器響應的變化除以對應的激勵變化。在EL檢測儀中，激勵可理解為輸入到光伏組件的電壓或電流，響應則是檢測儀捕捉到的發光信號強度。若靈敏度S與激勵(輸入量)x的大小無關，靈敏度為常數，可用儀器響應(輸出量)y的增量Δy與激勵x增量Δx之比來表示。例如，當輸入電壓或電流變化一定量時，檢測儀輸出信號的變化量越大，說明靈敏度越高。
信噪比考量：靈敏度過小，測量噪聲相對大，信噪比過低;靈敏度過大，儀器示值不穩定。由于任何電學儀器不可能沒有噪聲，因此常需要在噪聲中檢出信號，信噪比就體現了這種能力。在評估EL檢測儀靈敏度時，可通過測量其在不同激勵下的輸出信號，并分析信號與噪聲的比例關系來量化評估靈敏度。信噪比越高，說明檢測儀在噪聲背景下檢測微弱信號的能力越強，靈敏度也就越高。
最小可檢測信號：也可通過確定檢測儀能檢測到的最小信號變化來量化靈敏度，即最小可檢測信號。在光伏組件EL檢測中，可通過逐漸降低輸入到組件的激勵，觀察檢測儀輸出信號的變化，當輸出信號剛好能被可靠檢測到時，對應的輸入激勵變化量即可作為評估靈敏度的一個指標。該變化量越小，說明檢測儀能檢測到更微弱的信號，靈敏度越高。
與標準設備對比：使用已知靈敏度的標準設備進行對比測試，在相同條件下對同一光伏組件進行檢測，比較兩者的輸出結果，從而評估EL檢測儀的靈敏度。
